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Technologie

In unseren modernsten Vakuumbeschichtungsanlagen werden die unterschiedlichsten Beschichtungsverfahren implementiert. Zum Beispiel:

  • PVD
  • Plasmaunterstützung für alle gängigen PVD-Verfahren
  • PECVD
  • Magnetron Sputtern
  • Elektronenstrahlverdampfung (ESV, EB-Gun)
  • Ionenstrahl verbesserte Verdampfung (IBED, Ion Beam Enhanced Deposition)
  • Ionengestützte Abscheidung (IAD, Ion Assisted Deposition)
  • Ionenstrahlgestütztes Verfahren (IBAD, Ion Beam Assisted Deposition)
  • Plasma-Sterilisierung bzw.
  • Vorreinigung und Aktivierung der Substrat-Oberflächen
  • Reaktives / thermisches Verfahren
  • Sputtern und Reaktive Ionenätzung
  • Einbringen von Fremdatomen in die Oberfläche (Dotieren)
 
 
 
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